行业应用案例 | Elmo半导体行业应用案例合辑
在半导体的世界里，一切尺寸都必须是极微小的。而伺服系统一直在半导体应用中起到举足轻重的作用，高精准、高能效的伺服驱动器能够应用在不同设备上，从而提高设备运行效率和生产质量。近年来，随着半导体行业不断创新发展，释放更多对于伺服产品的需求，为伺服市场带来了新的增长驱动力。
而今，深谙半导体对精准度，稳定性要求高的行业痛点，Elmo探索出了更为灵活、更精确的运动控制解决方案。一起来看看Elmo在半导体行业的应用案例吧。
#1
全自动贴片机
研发在洁净室中运行的半导体设备时，需要确保半导体设备不会在运行时向空气中释放粒子，污染洁净室，这一点非常重要。而在龙门系统中，工作台的平行度和线性度不总是那么理想，这会导致两个电机同步运行时产生偏差，再加上不均匀负载的影响，可能会造成单边负载磨损严重。这种摩损会向空气中释放粒子，污染洁净室。
Platinum Maestro运动控制器
使用Elmo的EASII 软件及其高级的误差补偿功能，可以帮助用户创建一个同步误差补偿表格，可以动态补偿龙门同步偏差。经过误差补偿，龙门双驱运动时刻保持同步和平滑，从而极大地减少电机的内部摩擦和空气中的杂质。
所有14轴通过EtherCAT总线以1毫秒的循环时间进行同步，同时支持第三方设备。
Elmo的Platinum Maestro运动控制器作为主控制器，协调14轴在系统中的运动。
#2
洁净室运输机器人
专注于洁净间自动生产机器的某大型半导体公司正在开发一款机器人，用于在洁净间环境中移动小型 LCD 面板，如智能手机面板。生产过程中，LCD 面板在自动洁净间中由机器执行多个流程。机器人输送 LCD 屏幕，然后“送入”机器。
机器人具有四个自由度 (DOF) 和一个多关节臂;三个关节支持机器人移动到平面的所需位置，第四个 – 中央轴 – 将移动扩展到三维空间。精度、准确度和速度是此应用需要的重要特性。机器人团队面临以下设计挑战：
空间有限：机器人外壳尺寸无法修改，因为是大型洁净间机器的一部分。因此，小尺寸的紧凑驱动器非常关键。
准确度和快速移动，决定机器前的最终吞吐能力。
需要具有低故障率和高 MTBF(平均故障时间)的可靠驱动器
机器人作为 24/7 连续运行的机器的一部分，流程中的任何环节中断都会带来高昂成本。
集成驱动器作为多轴运动控制系统的一部分必须简便，缩短研发时间和降低成本。
机器人需要三个数字输出：(1) 报警，(2) 伺服开关和 (3) 制动
44 个 Gold Whistle 20/60 伺服驱动器
借助驱动器中实施的 Elmo 先进运动控制算法和 Elmo EASII 编程软件，驱动器能够以极为精确平滑的移动提供 LCD 屏幕。
将 Elmo 基于引脚的 Gold Whistle 伺服驱动器简单快速集成在 PCB 上，集成在机器人臂关节中，缩短了工程开发时间。Elmo 上/下 Gold Whistle 伺服驱动器利用控制外部制动的特殊输出，控制调节不平衡垂直轴。
自从设计这款洁净间机器人后，Elmo 推出了新的解决方案和选择。现在：
该应用的最佳解决方案是 Platinum Solo Quartet，即 4 轴小型运动控制系统 – 4 x 5000W 伺服驱动器和 4 轴运动控制器
使用 4 个 Platinum Twitter 伺服驱动器
此机器人在人附近工作，使用 Elmo 的 Platinum 伺服驱动器增加了先进的功能安全，更加安全可靠。
#3
晶圆探针测试机
设备有一个 XY 平台，共有超过 15 个运动轴。晶圆探针检测需要非常精准的测量，因此必须保证系统内的电磁噪声超小。客户不希望采用体积庞大、价格昂贵且需要大量时间来开发、组装和测试的外部 EMI 滤波组件。
此外，他们希望运动整定时间小于 30 毫秒和静止抖动小于 100 纳米，同时提高整体机器产能。
使用Gold Solo Bell，机器的运动整定时间减少到10ms以下，静止抖动小于20nm，大大低于要求。
由于 Elmo 的 EMI 可以忽略不计，无需笨重、昂贵的滤波器，从而使得机器更精简、性能更好。客户无需投入时间和精力来开发和测试用于复杂环境的 EMI 降低解决方案，就能够实现所需的性能。
Platinum Maestro 被选为机器运动轴的主控制器。卓越的伺服驱动器和多轴控制能力相结合，缩短了探针之间的时间，显着提高了整体产能。
半导体行业中的伺服系统应用，不仅能够提升设备性能，还可降低生产过程中的风险和不良率。Elmo的运动控制技术可以挖掘出机器潜能，更准确，更安全，更快速，也更易搭建和运行。相信，在半导体行业日新月异的发展中，兼具自动化与专业化的Elmo伺服系列势必迎来更加旺盛的需求。