技术文章
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- 高精度应用中革命性的驱动器技术NanoPWM驱动器
- 许多工业应用, 半导体晶圆检测系统, 有机发光二极管平板显示器生产和检测，,这些应用要求极其高的运动性能，在低速匀速运动的纳米级运动中保持亚纳米级的静止抖动和跟随误差。目前线性伺服驱动已经被应用于满足这些需求。这种类型的驱动器提供了惊人的性能，可以达到这些应用需要的线性度。但是由于线性伺服驱动器效率低，热损耗大，体积大、笨重。新一代450mm半导体比目前的300mm半导体大得多，而且这样的系统需要驱动器具有更高的能力，更高的电压和电流。这就要求线性驱动器体积非常大，而且能量很有限，因此限制了这个系统的性能和生产量，增加了系统成本，降低了系统可靠性。 NanoPWMTM是开关PWM驱动器的线性化，这种线性化基于一种独特的专利技术。 在过去5年中ACS研发的PWMBoostTM可以满足这样的位置系统。NanoPWMTM驱动器提供更好的位置性能和跟随性能，并且克服了线性驱动器的缺点。NanoPWMTM非常紧凑，有更高的效率和可靠性，可以提供更高的能量，电流和电源，而且更经济。
- 反馈：0浏览：1898发布时间：2014-03-05
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- 集中化运动控制提高性能并降低成本
- 一个高精度电子束晶圆检查的OEM设备商最近确定了在他们的下一代机器的三核心需求： 1)高分辨率位置反馈、2很精密的静态位置和匀速抖动 3)能很容易地接口到Windows和基于Unix的个人计算机。
- 反馈：1浏览：2584发布时间：2012-04-23
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