力控FMCS厂务监控系统在半导体零部件生产中的应用

• 关键词：FMCS,厂务监控,智慧厂务
• 摘要：力控FMCS厂务监控系统为半导体制造企业构建了智能化管理平台，实现了动力、环境、水务等八大子系统的全流程监控。系统通过SCADA平台整合数据，支持H5多终端访问，提供实时监控、历史趋势分析和多维可视化功能。

厂务监控系统作为现代制造企业实现智能化转型的重要基础设施，是提升生产运营效率、保障环境与能源管理质量的关键支撑。

面对日益复杂的厂务系统协同需求，大型半导体零部件生产企业在完成厂区建设后，亟需构建集动力、环境、水务等环节于一体的综合性监控系统。

基于达成对全厂设备的远程集中监控与智能调控目标，力控采用SCADA平台组态软件eForceCon结合信息化平台，为该企业打造覆盖动力、洁净空调机组、排气、纯水制备及废水处理等多系统的厂务监控系统，凭借强大的数据整合与实时监控能力，有效优化工艺环境，保障生产流程稳定，为企业提升综合运营效率与精细化管理奠定了坚实基础。

一、项目亮点

力控厂务监控系统涵盖从现场监控站到调度中心的完整数据采集与集成体系，实现对厂务传感仪表与PLC自控流程的全面实时监控。系统支持H5发布，具备B/S架构访问能力，便于多终端、跨平台使用。

1.全流程监控

系统按动力CUS、洁净CR、排气EXH、空调HVAC、自动补水、事故水池、超纯水、污废水等八大子系统进行流程可视化展示，覆盖生产工艺用水、恒温恒湿恒压环境控制及废气废水处理等环节。实时监测运行状态与工艺参数，优化调节PID参数，保障生产环境稳定可靠。

2.统一平台集成

系统通过标准化接口整合厂务运行数据，按照统一的MQTT数据格式和规范输出至上层厂务管理平台，支撑数据分析、决策，实现对厂务运营的全方位管控，助力优化生产计划、能源管理策略以及设备维护保养计划，从而提升整体运营效率与效益。

3.多维可视化

厂务监控系统将厂务运行的实时画面集成到 FMCS应用管理平台。基于Web技术实现浏览器访问，可直观查看设备状态、工艺流程图、实时数据曲线、报警信息列表等，形成大屏可视化展示。这种集成方式支持远程监控与多地点管理，便于在会议室或监控中心等场所进行集中汇报和决策分析，提升信息共享与管理便捷性。

4.历史趋势分析

系统提供高效的历史数据检索功能，支持按位号或关键信息快速查询，具备数据导出与历史曲线可视化能力。用户可灵活配置曲线数量与组合方式，一次组态多次调用，显著提升数据利用效率与决策支持能力。

二、项目成果

1.提升生产运行稳定性

通过实时监控厂务系统，显著降低了设备突发故障频率。尤其是在电力系统监控中，及时发现并处理了多起电压波动异常事件，避免因电力供应不稳定导致的生产设备停机事故，将生产计划完成率提升20%以上，保障生产流程的连续性与稳定性。

2.优化能源管理效率

系统实时采集并分析能耗数据，精准掌握各区域和设备的用能情况，为制定科学的能源管理策略提供数据依据。通过对压缩空气系统、HVAC等主要能耗系统进行优化调度与参数调整，使能源消耗成本较项目实施前降低了30%，同时提升用能效率、减少碳排放，为绿色环保与企业可持续发展做出贡献。

3.增强设备维护能力

基于设备运行状态监测与历史趋势分析，系统帮助维护人员准确判断设备健康状况，推动从定期预防性维护向预测性维护转变，大幅降低维护成本，延长设备寿命，提升整体运行效益。

4.强化环境安全保障

实时监控厂区环境参数（如温湿度、有害气体浓度等），确保生产环境符合工艺与安全标准，当消防系统识别到火警隐患时，系统可快速响应，提升工厂的火灾防控能力，充分保障人员生命与财产安全。

5.提升运维管理智能化水平

运维人员通过监控平台全面掌握运行状态，快速定位问题，并进行远程操作或现场处置，减少了人工巡检的频率与工作量，降低人为失误风险，帮助企业将运维管理效率提高 50% 以上。

力控FMCS厂务监控系统因其强大的一体化数据集成、智能监控以及多维可视化能力，成功搭建起客户企业厂务管理的“智慧中枢”，在生产稳定性、能源效率、设备维护及安全防控等方面取得显著成效，助力企业实现精细化管控，并向数字化、智能化转型升级迈进。