欧姆龙成功事例 | EFEM设备中的上料判断方案

应用介绍

【行业】半导体

【设备】AMHS

应用场景

上料时的wafer有无判断，映射出wafer位置后方便后续机械手的抓取。

解决课题

1、由于设备内部安装空间紧凑且机械手的承载能力有限，检测模块需要直接内嵌安装于Loadport的开门执行机构或晶圆搬运机械手的本体结构中。

2、需要平等检测不同材质的晶圆，避免因材料特性差异导致的误检或漏检。

价值提案

核心产品：光纤单元 E32、光纤放大器 E3NX-FA

■E32采用耐折弯结构制造，至少100W次的弯曲寿命，非常适合mapping往复运动的检测方式，防止长时间运行时的机械寿命发生断线。

■E32备有3mm和4mm厚等各种安装方式，易于设置在loadport开盒机构或者晶圆机械手臂上的薄型形状，光轴的调整也非常简单（光纤头光轴与定位基准面的偏差仅为±0.1°Typ）。

■使用放大器S-TUNE智能调谐，快速设定光量和阈值，尽量减小对射光纤安装时的对齐误差，并且在具有透明度上的wafer也可以做到快速设定。

相关产品

光纤单元 E32

光纤放大器 E3NX-FA

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