欧姆龙成功事例 | 划片机的NCS非接触测高检测方案

• 关键词：欧姆龙工业自动化,光纤放大器
• 摘要：在晶圆或基板切割过程中，随着刀轮持续使用会出现磨损，导致切割精度下降。为保持切割质量稳定，需不断监测刀片磨损状态，并根据磨损量动态补偿进给量。

应用介绍

【行业】半导体

【设备】刀轮划片机

应用场景

NCS非接触测高检测

解决课题

1、在晶圆或基板切割过程中，随着刀轮持续使用会出现磨损，导致切割精度下降。为保持切割质量稳定，需不断监测刀片磨损状态，并根据磨损量动态补偿进给量。

2、在刀片高速旋转的切割作业中，检测系统需确保磨损量测量数据稳定可靠，避免因测量失准导致的切割深度偏差或材料损伤。

价值提案

核心产品：智能光纤放大器 E3NX-FA

■E3NX-FA通过宽光带光纤实时采集刀片工作状态的光信号，将其转换为电压信号输出以检测刀片的磨损量，为刀具补偿提供即时数据支持。

■模拟量输出型放大器配备多种检测模式，配合NCS使用，实现检测参数远程配置与实时数据反馈，显著提升系统响应速度与抗干扰能力，满足复杂产线环境下的高精度检测要求。

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