欧姆龙成功事例 | 探针台设备上的温度控制应用

• 关键词：欧姆龙工业自动化,温度控制单元,晶圆
• 摘要：通过在不同温度（-55℃-150℃）循环检测晶圆各个区域的方式，测试晶圆性能。

应用介绍

【行业】半导体

【设备】测量设备

应用场景

通过在不同温度（-55℃-150℃）循环检测晶圆各个区域的方式，测试晶圆性能。

解决课题

1、探针检测时芯片局部发热，会导致芯片检测区域温度波动，超过一定幅度会影响检测节拍。

2、原温控表+PCB板方案只能通过PCB板做多路PV输入的平均值，无法做切换控制。(工艺需要使用最高 PV值做控制，且需要ms级切换)。

价值提案

核心产品：温度控制单元 NX-TC

■利用外部干扰抑制功能，将温度波动控制在较小限度，缩短温度变稳定所需的时间，避免影响检测节拍。

*上位PLC不需要温度控制程。NX-TC在模块内部进行运算，所以不需要编写温度控制程序。

■采用ECT主站+NX-TC3408模块替代温控表控制热盘温度，主站ECT进行PIDAT控温，缩短节拍及抑制超调。（稳态控温精度+0.1℃，超调小于0.5℃）

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