欧姆龙成功事例 | 半导体生产中的foup到位检查应用

• 关键词：欧姆龙,光电传感器,半导体
• 摘要：与半导体FOUP盒规格相契合，不受材质、颜色、反射率、重量等各种影响，准确检测FOUP盒的落座情况。

应用介绍

【行业】半导体

【设备】AMHS

应用场景

场景1.EFEM中的cassette落座

场景2.OHB中的cassette落座

场景3.stocker中的foup落座

解决课题

1、不同种类的FOUP盒会因材质、颜色、重复使用导致的老化等各种因素影响检测，难以实现统一的稳定性评估标准。

2、open cassette质量较轻，难以正确下压驱动销，导致漏检的情况产生。

3、因生产要求，需要在机械手上直接安装传感器。但机械手上的空间有限，传感器难以安装。

价值提案

核心产品：按钮型光电传感器 EE-SA701/801

■与半导体FOUP盒规格相契合，不受材质、颜色、反射率、重量等各种影响，准确检测FOUP盒的落座情况。

■以光学方式检测驱动器的动作，对下压力的要求较低，即使是质量较轻的open cassette也可以进行稳定检测。同时， EE-SA701/801的机械寿命达500万次以上，实现超长使用。

■EE-SA701/801采用薄型设计，备有柔韧性佳的耐曲折导线型，可实现搬运臂上的嵌入式安装搭载。

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