MSST10-Q在扩散炉\PECVD上的应用

• 关键词：MSST10-Q,扩散炉
• 作者：易亮
• 摘要：本文介绍MOONS’ （鸣志）MSST10-Q在扩散炉\PECVD上的应用。概述了扩散炉\PECVD的工作原理，针对该应用对步进电机的特殊需求提出了解决方案，长期生产应用表明，本公司MSST10-Q性能优越、速度快、稳定性高、驱动器调试方便等特点，可以满足扩散炉行业的应用需求。

应用设备：DS－300A型管式高温扩散炉。

设备功能介绍：

本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂。扩散是半导体工艺生产中的一种关键工艺，通过扩散所形成的PN结，就是晶体硅太阳能电池的核心。

应用产品型号：

MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04

产品应用介绍：

热扩散炉用2个MSST10-Q-RN、2个23HS3002-29；

（PECVD用1个STM23S-3RE、1个MSST10-Q-RN、1个23HS3811-04）

步进电机用于驱动图中四个黑框里的模块上下、前后移动，一个电机装在模块上，通过变速箱 丝杠带动模块做上下运动，一个电机通过皮带 滚珠丝杠带动模块水平运动。

设备中共有四个工控机，每个工控机控制两个驱动器（一个模块）。

    目的是送料进入炉中，或从炉中取料出来。

应用环境参数：

负载：同步带负载，长度3米。

上位机：研祥工控机，

控制模式：主机控制模式，SCL语言编程，客户自己编写程序；RS485通讯，两轴控制，无需插补运动；正反转限位提供机械保护；

电源：24V开关电源； 

细分：20000 step/rev；

速度：300rpm；

动作，低速往复运动，运行10分钟，静止1小时。

客户选用的原因：

主机编程控制，实现全数字化控制，抗干扰能力强。