雅科贝思 突破“不可能三角”——飞马座运动平台

供稿：雅科贝思精密机电(上海)有限公司

关键字：飞马座运动平台,半导体量检测,主动隔振

产品简介：
雅科贝思飞马座运动平台，以系统层面的正向设计，从材料、结构、热管理和运动控制等多个维度出发，实现毫秒级整定、亚微米级精度，更将静态抖动控制在纳米级别，为半导体制造带来了革命性的突破。

产品介绍

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发布时间：2025年3月20日 16:14 人气：   工控网审核编辑：陈磊
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