微桥式气体质量传感器

• 关键词：微桥式气体质量传感器,传感元件
• 摘要：微桥式气体质量传感器是基于气体流过传感元件的热传输工作原理，传感器输出电压正比于流过内部传感元件进出口的空气或其他气体质量。

微桥式气体质量传感器是基于气体流过传感元件的热传输工作原理，传感器输出电压正比于流过内部传感元件进出口的空气或其他气体质量。

特殊设计的壳体精确的引导和控制气流流过微桥，并能很方便的安装在印制线路板上。基于最新的微结构技术，传感器内含一块独特的硅芯片—它包含薄膜电路、发热及热敏感元件的热隔离桥电路桥电路对流过芯片的气流快速、灵敏地响应。

发热体两侧的敏感元件还能指示出气流流过的方向。激光矫正的厚膜电路及薄膜电阻保证了每个元器件一致的性能。微桥式气流质量传感器利用热敏电阻薄膜被压成薄片状包含在绝缘材料厚膜电路中，微桥式气体质量传感器的小尺寸和热隔离有助于气流的快速响应及高灵敏度。双惠斯顿电桥控制气体的流量—一个提供闭环的发热器控制，另一个包含双传感元件，发热器控制线路吧由于周围环境温度变化而引起的输出温漂减小到最小程度，此线路保持发热器温度恒定高于周围环境温度160℃，周围环境温度由芯片上的热敏电阻测量得知。惠斯顿电桥的差压即为随电源电压比率变化的传感器输出电压。

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