史陶比尔洁净室机器人
关键字:史陶比尔,洁净室机器人
- 产品简介:
- CR/SCR洁净室机器人符合ISO2/4级标准,适用于晶圆搬运、存储、清洗等环节,结构紧凑,节省空间。
产品介绍
洁净室工业机器人系列
史陶比尔洁净室机器人符合 ISO 14644-1 标准中的 2 级(超净室版本)和 4 级(洁净室版本)洁净度要求,采用全封闭设计,表面为光滑的聚氨酯材质,具有极高的灵活性。与其他晶圆搬运机器人相比,史陶比尔超净室和洁净室机器人在灵活性、负载能力和工作范围方面表现出色,能够很好地应对晶圆、光掩模、载具及晶圆盒搬运方面的挑战。此外,其结构紧凑,占用空间小,有助于节省专用设备内的宝贵空间。


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