欧姆龙成功事例 | 对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案
应用介绍
【行业】SEMI
【设备】清洗机/CDS/SDS
【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等
应用场景
对储液罐（tank）的液位进行检查。
解决课题
部分有机溶液（氢氟酸）具有腐蚀性，无法使用透明玻璃管显示液位。
价值提案
核心产品：光纤传感器E32-D82F1（接液型）、光纤放大器E3NX-FA
■接液型光纤传感器可部署于储液罐（tank）内直接接触液体测量
■200℃的耐热性并有氟树脂涂层，耐化学性强，满足清洗槽温度和腐蚀要求，实现对有机溶液的液位检测
相关产品
光纤传感器E32
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/
光纤放大器E3NX-FA
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/
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发布时间：2025年8月4日 13:20 人气： 审核编辑：李娜
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