欧姆龙成功事例 | 研磨机wafer预载位的高精度检测方案

• 关键词：欧姆龙,光电传感器,研磨机
• 摘要：研磨机wafer预载位的高精度检测方案,不同工序时wafer衬底的粗糙度较大，尤其是抛光后的wafer作为镜面体产生的正反光非常容易影响传感器的检测。

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】wafer grinding 研磨机

【用途】线切割后的晶圆磨削

应用场景

研磨机wafer预载位的有无检测确认。

场景： 清洗槽/干燥槽内检测Cassette的有无

解决课题

1、不同工序时wafer衬底的粗糙度较大，尤其是抛光后的wafer作为镜面体产生的正反光非常容易影响传感器的检测。

2、需要300~500mm的远距离稳定检测，方便机械手吸取wafer。

3、需要对透明wafer衬底进行检测。

价值提案

核心产品：光电传感器 E3AS-HL500L

●透镜自动校准配备高精度CMOS，稳定检测各种材质wafer。

●拥有优异的角度特性，在远距离检测时能针对线切割后的wafer的粗糙面进行稳定检测。

●需要检测透明wafer时，可通过示教轻松设定高灵敏度背景。

相关产品

光电传感器 E3AS-HL

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3779/

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