超声波传感器在全自动硅片上料机中的应用

• 关键词：超声波传感器,传感器
• 摘要：如何使全自动硅片上料机在装载过程中精确取料一直是让人头疼的问题之一。科瑞dbk+4系列超声波传感器为这一难题提供了完美的解决方案。

问题描述

　　全自动硅片上料机是将硅片盒里的硅片自动装载到清洗花篮里，以方便后期进入槽式清洗设备中进行清洗及取放。由于硅片花篮的每格的空间只能装一片硅片，所以一旦硅片有水或者其他原因造成取两片时，在装载过程中就会造成硅片碎裂。这不仅影响了生产效率，也增加了生产成本。

　　要实现精确取料，必须对检测设备的精度有更高的要求。

解决方案

　　科瑞采用超声波单双张检测传感器为客户解决了这一难题。这一系列传感器运用声波原理，不管硅片的厚度，双张信号只跟实际硅片的单张或双张有关，因此无需设置厚度即可直接进行检测。

　　不同于常规超声波单双张检测传感器，科瑞dbk+4系列超声波传感器可以选择不同的检测模式，即便硅片上沾有水膜或其他原因影响了硅片，dbk+4系列超声波传感器也可以精确检测出硅片的单双张。因此无论在何种情况下，该系列超声波传感器都是此方案的绝佳选择.

方案价值

　　该解决方案简单、有效。小型化的外壳尺寸可以使客户更方便的设计安装于原有设备上。为客户完美解决了取料准确这一难题，节约了生产成本，提高了生产效率。

所用产品

dbk+4系列超声波传感器
dbk+4/3CDD/M18 E+S
dbk+4/3BEE/M18 E+S

产品特色

• 小型化外壳尺寸，多种尺寸可选

• 单张、双张准确检测

• 广泛应用于各种晶片

• 不需自学习（即插即用）

• 双张和缺张输出

• 3个外部控制输入可调：材料、触发和自学习的选择

• 发射器—接收器安装间距从20～60mm可选

• 非常紧凑的M12螺纹发射器和接收器

• 自学习可选：例如检测带水膜的薄片

• 通过LinkControl参数化，可通过线缆选择检测模式