半导体匀胶显影机传感器选型推荐应用案例

供稿：嘉准传感科技(湖南)有限公司

  • 关键词：嘉准传感器,半导体
  • 摘要：半导体匀胶显影机传感器选型推荐

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1、检测晶圆盒有无

产品方案：PJTI-S10N

2、机械手拿出晶圆盒内，检测晶圆有无


产品方案：FF 403+FFRS-310


3、匀胶显影机的主要单元检测晶圆的流程,检测定位


产品方案：FF-403+ FFRE-310


4、晶圆表面水冲洗边缘曝光等功能完成，最后检测

产品方案：BGS-S10N

5、检测气缸磁性开关是否到位

产品方案：FD-14R


6、压力开关控制整台设备气压

产品方案：FKP70BP-010-F3

7、导轨电源


产品方案：FP300D- 24MDA 


8、固态继电器20A,40A直流控制交流

产品方案：WLHJP-22 25A或WLHJP-22 40A 


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发布时间：2021年9月17日 18:05  人气：   审核编辑(王静 )
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