半导体精密研磨抛光机传感器选型推荐应用案例
- 关键词:半导体,抛光机,嘉准传感器
- 摘要:半导体精密研磨抛光机传感器选型推荐
1、检测晶片有无
产品方案:FF-403+FFRS-310
2、晶片安放在研磨槽里面检测到位
产品方案:FF-403+FFRS-310
3、晶片研磨后进行清洗过程
产品方案:FF-403+ FFR-38M
4、研磨清洗后成品晶片检测
产品方案:FF-403+FFRC-310
5、检测气缸磁性开关是否到位
产品方案:FD-07R
6、压力开关控制整台设备气压
产品方案:FKP70BP-010-F3
7、导轨电源
产品方案:FP300D- 24MDA
8、固态继电器20A,40A直流控制交流
产品方案:WLHJP-22 25A或WLHJP-22 40A