泓格环境监控解决方案在半导体制造厂无尘室的应用

• 关键词：泓格,边缘运算控制器,半导体
• 摘要：使用泓格的环境监控模块搭配WISE系列智能边缘运算控制器，轻松将无尘室的漏液、温度、湿度、门禁数据回传中控中心进行远程监控，严格把关无尘室的环境状况。

使用泓格的环境监控模块搭配WISE系列智能边缘运算控制器，轻松将无尘室的漏液、温度、湿度、门禁数据回传中控中心进行远程监控，严格把关无尘室的环境状况。

案例介绍

客户为半导体制造业者，提供厚薄膜基板与客制化半导体微型模块封装开发与制造，希望能有一个完善的环境监控解决方案，除了监测无尘室的温湿度与建置门禁系统做安全管控，更希望当漏液情况发生时，可在第一时间获得通报，以避免漏液造成周遭机台或设备的损失。以下将说明客户如何透过泓格的环境监控解决方案达到此目标。

泓格无尘室环境监控解决方案

泓格环境监控解决方案可分为三部分: 使用iSN-101 I/O模块与CA-LLD-DC100X-L030漏液侦测线组成的iSN-101/S2/DIN漏液监测模块，监测漏液情形; 使用DL-100TM485P温湿度感测模块，进行温湿度数据的监测; 使用tM-PD3R3数字输入继电器输出模块，做门禁安全的监控。

使用以上三种泓格的环境监控模块搭配WISE-5231智能边缘运算控制器，将现场的漏液、温度、湿度与门禁信息传回中控中心，进行远程监控，其说明与架构如下:

iSN-101/S2/DIN漏液侦测模块是由iSN-101 I/O模块与CA-LLD-DC100X-L030漏液侦测线组成，iSN-101能将CA-LLD-DC100X-L030于布线区域内侦测到的漏液数据透过Modbus RTU传送至WISE-5231智能边缘运算控制器。

DL-100TM485P温湿度感测模块可量测特定空间内的温度与湿度，并将这些数据透过Modbus RTU传送至WISE-5231智能边缘运算控制器，进行环境监测。

tM-PD3R3数字输入继电器输出模块可将门禁刷卡机的数据透过Modbus RTU传送至WISE-5231智能边缘运算控制器，并由WISE-5231进行门禁管理。当刷卡成功时，WISE-5231会开启门锁，刷卡失败时，WISE-5231则发送告警讯息给管理人员。

泓格WISE系列智能边缘运算控制器可被广泛的应用于各种工业现场的边缘逻辑控制与监测，其内建的IF-THEN-ELSE逻辑引擎可以稳定高效地执行自动化逻辑，并提供数学运算、排程和电子邮件警报消息发送功能。在此案例中，客户使用WISE-5231将漏液、温湿度、门禁资料透过Modbus TCP回传中控中心，当异常状况发生时则发送告警通知并启动相关措施，进行环境监控。

现场接线图

结语

无尘室的应用领域相当广泛，除了本文提到的半导体生产之外，还包括生化技术、生物技术、精密机械、制药和医院内的手术室等等，而泓格的环境监控解决方案皆可应用其中。

泓格科技长期耕耘环境监控解决方案，通过各项环境数据采集模块的建置与机台设备联网，提高整体的营运效率，帮助各大工厂成功转型为智慧工厂。