半导体外观检测方案
- 关键词:半导体,外观检测
- 摘要:外观不良,不能使用,会导致致浪费下工序的人力、材料、物力、时间等成本。
一、项目背景:
外观不良,不能使用,会导致致浪费下工序的人力、材料、物力、时间等成本。
之前检测方法存在问题:
1、检测速度慢,无法实现在线检测;
2、人工检测主观性大,人员易疲劳;
3、品质管理难,人工操作中易造成其它不良内容。
二、解决方案:
1、双排料带,一排料带使用2个相机,正反面各一个;
2、采用高亮同轴光,将要检测的部分在图像中凸显,通过视觉工具和几何工具分析,同时实现运动中检测;
3、判断出的不良品通过切刀切除。
三、设备能力和特点:
1、检测内容:外观检测
2、精度:0.002mm
3、速度:0.05秒/只
4、特点:
1)软件自动定位系统保证检测点始终跟着产品在图像区域的移动,从而实现高重复性,高准确性测量;
2)高速运动中能稳定检测;
3)一台电脑控制所有的相机,可同时看所有相机实时检测画面。