以全栈方案锚定新质未来
2026年3月20日,南京香格里拉大酒店,中国工控自动化行业的目光聚焦于“2026中国自动化+数字化产业年会”。在这个以“反内卷”重塑信心、以“新质生产力”锚定未来的关键节点,LS电气以“执行者”之姿强势亮相,不仅带来深耕半导体全栈式解决方案的硬核思考,更在万众瞩目的颁奖盛典中,将运动控制与传动产品“新质奖”收入囊中。

解码半导体“全链路自研”创新实践
在工业AI赋能制造业转型论坛,LS电气自动化事业部陈锁Team长发表了题为 《“芯”动之擎:特殊马达高精协同与流体精准控制在半导体设备中的创新实践》 的主题演讲,引发全场共鸣。



面对半导体设备对精度、洁净度与可靠性的极致苛求,LS电气展示的绝非单一产品,而是一套 “动力+流体”协同控制的系统级答案。演讲中,通过中国本土头部半导体设备的实际应用案例,生动诠释了何为“全链路自研”。
案例一:刻蚀设备的“核心驱动”
刻蚀设备厂商面临一项严峻挑战:其12寸晶圆刻蚀机台需要在极高真空环境下,实现电机8000rpm稳定运转且微米级轴端跳动控制,同时要抵御腐蚀性气体的长期侵蚀。
LS电气的Spinner电机给出了深度定制化解决方案:专为涂胶、显影、清洗、刻蚀等关键工艺设计,其中空轴结构保证真空吸附的顺畅,磁流体密封技术筑起防腐蚀的可靠屏障,专用驱动器则确保瞬时启停的精准响应。如今,这款特殊电机已成为该厂商新一代机台的“标配心脏”,运行寿命和稳定性远超预期,助力国产半导体设备性能对标国际一流水平。
案例二:湿法工艺的“精准调控”
CMP设备厂,如何精准控制研磨液(Slurry)的流量,同时防止颗粒物堵塞管路,一直是困扰行业的难题。传统流量计要么精度不足,要么耐磨性差,难以满足12寸晶圆厂的严苛要求。
LS电气提供的UFM系列超声波流量计定制化解决方案:凭借其非接触式测量的天然优势,完美避开了与腐蚀性、高磨蚀性液体的直接接触。更重要的是,通过集成定压阀与电动阀的结构,将复杂的流量计组成整合为单一LFC产品,协助客户打通了从流量计到上层控制系统的数据链路,实现了研磨液用量的闭环精准控制。这一方案不仅大幅提升了CMP工艺的稳定性,更帮助其终端客户—国内某头部12寸晶圆厂,实现了单机台每年数十万元的化学品成本节约,以“小切口”撬动了“大效益”。

LS电气的半导体设备解决方案已广泛应用于冷水机、气体净化装置、真空泵及气体柜等核心辅助设备,为工艺稳定性与高纯气体供应提供了有力支撑。 从AMHS天车系统(OHT)的运动控制,到Utility设备的变频驱动,再到核心工艺机台的专用电机与流量监控,每一环都具备自主定义和深度优化的能力。这正是LS电气敢于说 “为半导体设备提供深度定制化方案” 的底气所在。
Spinner电机斩获“新质奖”
LS电气自主研发的Spinner电机,在众多参评产品中脱颖而出,荣膺运动控制与传动产品 “新质奖” !根据大会主办方介绍,该奖项旨在评选真正代表新质生产力,即具备高技术效能、高可靠性及产业创新价值的标杆产品。LS电气的Spinner电机获奖,是实至名归。

填补短板
专为半导体涂胶、显影、清洗、刻蚀等工艺设计,解决了高速运转下中空轴真空吸附与耐腐蚀防护的复合难题。
卓越性能
正如奖项提名所述,其在效率、功率密度、动态响应上的突破,在防腐蚀、真空吸附及高速运行等严苛工况下表现稳定,完美契合了新能源、半导体等精密制造场景的严苛需求。
市场验证
从清洗、刻蚀到CMP,Spinner电机已在中国本土半导体设备头部企业中得到广泛应用与验证,成为国产设备升级迭代的可靠伙伴。
这份荣誉,是行业对LS电气在精密传动领域技术积淀的又一次认证,也标志着LS电气在中国市场的“本土化创新”迈入了价值深耕的新阶段。


以“红马”之姿奔赴VISION 2030
2026年是丙午红马年,也是LS电气“VISION 2030”战略执行的元年。站在这一新起点,面对中国制造业“存量深耕+增量卡位”的新格局,LS电气正依托无锡、大连两大生产基地,将半导体、船舶海事、AI数据中心等领域的成熟经验“水平展开”,以“深度定制+核心自研”的差异化优势,深度赋能中国本土产业链。此刻我们收获荣誉,未来我们策马奔腾。感谢中国工控网与行业伙伴的认可,也感谢每一位关注LS电气的朋友。2026年,以“执行”之姿,奔赴2030。在破晓的新生中,共同见证中国智造的跃迁!

