产品介绍篇:非接触式光学 3D 轮廓仪系统
供稿:工控网
来自Novacam的光学 3D 轮廓仪TM系统可用于非接触式3D表面和厚度测量,即使在难以触及的空间如钻孔、管道等,也可进行非接触式微米级精度3D测量,获取尺寸、粗糙度、缺陷、振动或厚度数据。
光学3D轮廓仪TM系统
系统组件
NOVACAMTM光学3D轮廓仪TM是一个模块化系统,它的检测能力由其组件共同决定。
主要包括以下组件:
1光学侧视或前视探头:有几种标准尺寸和长度可选,也可以定制
2MICROCAM干涉仪:为光学探头提供光源,并处理从探头接收到的光信号
3运动控制系统
4PC、显示器和操纵杆
光学3D轮廓仪TM系统
特点和优势
NOVACAMTM光学3D轮廓仪TM系统拥有基于光纤的探头,易于与精密载物台、第三方坐标测量机、数控机床或机器人集成,以支持大量的流水线工作。
系统优势:
可用于测量狭窄空间内部、特殊形状物体外形、平面光滑度以及边缘线性度
对被测物体的表面反射度没有要求(从镜面到全黑都可测量)
高速测量,每秒高达100,000个3D点
能够测量静止及运动的物体,包括固体或液体、孔和管的内部、圆柱体的外部等
光学3D轮廓仪TM系统
应用场景
Novacam光学3D轮廓仪TM系统的探测器探头基于光纤的特性,在光学计量行业中具有独特优势,在航空航天、汽车、电力、国防、医疗仪器、电子等多个领域都有应用。应用场景包括尺寸测量、粗糙度测量、缺陷检测(如裂纹、划痕)、半透明材料的厚度测量等。
1尺寸测量
在XY载物台上使用光学3D轮廓仪TM系统采集的硅晶圆表面
2粗糙度
线性粗糙度参数,粗糙度显示为高度和强度图像
3厚度测量
可用于测量单层或多层、透明或半透明材料。图为人工晶状体的2D横截面
4缺陷测量
喷气发动机涡轮盘上枞树型插槽的3D几何形状和缺陷
*以上产品及应用图片均来自Novacam