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雅斯科为半导体制程和设备提供精确测量和有效保障

供稿:工控网

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半导体工业随着汽车制造,人工智能,物联网,工业4.0等领域的飞速发展,面临着产能,可靠性,供应链成本等重大挑战。雅斯科的压力测量技术和产品,包括配备CVD传感元件的高纯压力传感器以及使用 Si-Glas™ 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件的微差压传感器,在诸如气体控制面板,氢气压力检测,以及洁净室关键环境控制等应用领域,为半导体制程和设备提供精确的测量和有效的保障。


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高纯气体的纯度至少为99.999%,其清洁度水平超过制药行业的一万倍甚至更多。如此高标准的要求是基于半导体制程的精密性,也因为制程一旦被污染所造成的损失巨大。实际上某些设备涉及多达400个工艺步骤,也增加了被污染的机率。


因此压力传感器必须具有高准确性,高洁净度,接液材质应能与多种气体兼容,同时应确保介质和颗粒潴留的可能性降到最低程度。部分应用场合需要符合气密性要求。


ZT/ZX/ZL高纯压力传感器

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雅斯科ZT/ZX/ZL系列高纯压力传感器基于CVD传感元件平台,是超纯应用的专用压力传感器产品,其产品特性包括能适应不同介质的接液元件材质,如316L, A286,Co-Ni 合金等,也包括VCR接头,以及符合规范的表面光洁度和测量精度。每台产品都经过泄漏检测(<5 x 10¹² atmcc/s)以及双重包装处理,确保完整性和洁净度。


CVD传感元件技术,是以化学气相沉积的工艺(Chemical Vapor Deposition),使多晶硅薄膜与接液基座形成原子级别的牢固结合,是确保ZT/ZX压力传感器的稳定性与可靠性的关键。


GX/CX/DX微差压传感器

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雅斯科GX/CX/DX等微差压传感器产品基于MEMS制造的的Si-Glas™ 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件,采用雅斯科TruAccuracy™技术进行校验, 充分考虑零点和满量程误差,可选SpoolCal®设计,允许在线标定和校验。


Si-Glas™传感元件使用的硅膜片具有良好的弹性和延展性,金属和晶体通过溅射的方式与硅片牢固结合,因此传感元件具有良好的温度范围和安装位置变化的适应性,具有良好的长期稳定性。这是雅斯科特有的技术,也是确保雅斯科的微差压传感器精确可靠的关键。


HPX/HPT/HPS超高纯压力表

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雅斯科HPX高纯压力表系列提供28mm、50mm、63mm多种表盘直径规格,具有316L接液材质,Class10,000/100洁净室清洗,100%氦检漏,双层包装袋等符合行业应用要求的特性。


带簧片开关的 Ashcroft® 50 mm HPS 超高纯压力表提供不锈钢结构和接液组件。簧片开关功能通过启动触发警报或过程条件变化的内部开关来提供额外的安全功能。


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雅斯科与客户同行


起始于1852年的Ashcroft(雅斯科)公司,在全球布局制造基地,致力于结合应用需求,为本地客户提供专业的产品与便捷的服务,帮助客户保护流程,保护人员安全,降低使用成本。


发布时间:2022年4月14日 15:24 人气: 审核编辑:李娜
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