成功案例｜格创东智AOI检测设备助力头部硅片厂实现生产全流程自动化质检
供稿：格创东智科技有限公司
项目背景
国内头部半导体材料厂，专注于半导体硅片及其延伸产业领域的研发和制造，坚持以创新驱动发展，为全球客户提供全产品解决方案。
项目挑战
众所周知，硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料，是半导体产业链基础性的一环。但在硅片生产过程中，伴随复杂工艺流程产生的缺陷种类多且复杂，多数工厂采用人工目检方式进行外观检测，而人工目检会随着产能的提升和工艺能力要求的提高产生诸多弊端：
判定标准不统一，检测效率低下 质检人员流动性大，培训周期长 无留档记录，无法追溯历史数据 缺陷种类多，无法量化缺陷统计数据 无法实时监控和反馈数据，缺少工艺异常锁定功能 1）产品外观缺陷检测：通过机器视觉获取产品表面特征图像，对图像中的缺陷进行精准定位抓取，并进行精准识别与分类； 2）数据统计分析：分析产品缺陷分类占比，准确定位缺陷位置信息，有效识别生产工艺改善方向；批量统计分析缺陷变化规律，定位缺陷产生原因及工艺，实时检测设备及工艺性能波动情况；结合生产过程中出现的缺陷数据和趋势信息，对改善制造工艺、优化生产流程进行缺陷根因分析； 3）自适应缺陷识别：通过自适应成像配置调节及多种成像方式，结合无监督迁移学习的人工智能算法，对新形态缺陷不论大小以及形态均实现自适应缺陷检出。并配合自动化质量监控对设备问题进行报警。 项目成果 通过自动化检测设备替代原有人工目检，10秒检测一块硅片，检测效率大幅提升，满足高产能生产需求；1个人可以同时维护多台设备，大幅降低了人力投入，同时缩短了人工培训周期。 2、缺陷检测准确率高达99% 通过自适应高分辨率成像稳定获取产品图像特征，并结合机器视觉建立统一的缺陷检测规范，有效提升了产品缺陷检测的稳定性以及准确性。 3、出货良率提升20% 在进行缺陷检测的同时，进行大量数据统计分析，有效识别前段工艺生产问题及改善方向，进而促进生产工艺优化，结合精准的产品等级划分，促使产品出货良率提升。
