成功案例 ｜格创东智OHT天车解决方案，打造顶尖国产自研半导体晶圆搬运系统

• 关键词：格创东智,天车,半导体晶圆搬运系统
• 摘要：我国某重要的高端核心电子器件供应基地、半导体新器件新技术创新基地，为提升晶圆搬运效率，支撑半导体生产线的稳定、高效运行，决定建设半导体领域最先进的，具有自主知识产权、高效稳定、智能化程度高的国产自研晶圆搬运系统。

我国某重要的高端核心电子器件供应基地、半导体新器件新技术创新基地，为提升晶圆搬运效率，支撑半导体生产线的稳定、高效运行，决定建设半导体领域最先进的，具有自主知识产权、高效稳定、智能化程度高的国产自研晶圆搬运系统。

基于该基地的建设规划及现状，格创东智从生产效率提升、数据安全、紧密空间设计三个方面进行了详细的方案设计，为其提供空中物料传输、人机协同、数据传输等整体解决方案 ：

生产效率提升

通过天车部署安装，覆盖对接多机台复杂工艺流程间的物料搬送，通过MCS进行全流程的物料自动搬送，弥补了传统人工搬运在效率、失误率、洁净度等方面漏洞。

数据安全

针对客户场景提供定制化网络安全方案，保障客户对天车运行数据、数据传输的稳定性、可行性、安全性。

紧密空间设计

系统方案包含自研OHT、OHTC、MCS、异形轨道等，整个AMHS系统包含搬运、通讯、存储等众多硬件装备及其软件，覆盖整个半导体前道工序，充分考虑客户在紧密空间下的物料搬运需求整体解决方案。

通过构建完整的晶圆搬运系统，格创东智帮助客户在空间和设备利用、运送安全与效率、生产调度灵活性等方面取得了显著成效：

1、为客户提供天花板架设轨道、采用多层设计OHB结构，充分考虑客户工厂不同工序间传送路径间的配合，优化天车传送路径，提高客户整体空间使用率和设备使用效率。

2、极大地降低晶圆搬运过程搬运震动引发晶圆破损风险，搬运精度控制在±1mm以内，搬运过程载具振动值＜0.5G，关键取放过程实施多重防护，为生产物料及时稳定安全运输保驾护航。

3、有效整合MES、EAP、OHTC、OHT等软件传输层的数据，充分考虑生产工艺过程物料运输的最优路径，有效避免拥堵，同时与FAB其他设备、软件紧密协同，通过数字孪生技术实现对整厂搬运有效追踪，为管理者提供了可靠、实时数据信息，同时增强了生产调度的灵活性和响应速度。