晶圆制造解决方案之利器 — 中空伺服电机

• 关键词：安川电机,中空伺服电机
• 摘要：随着信息技术的高速发展，半导体产业日益成为全球最重要的产业之一。目前，半导体设备的国产化需求急剧上升，得益于半导体行业的蓬勃发展和国家政策的支持。在此大背景下，安川电机深入对半导体设备和工艺的研究，致力于为客户提供优质的解决方案。

前言

随着信息技术的高速发展，半导体产业日益成为全球最重要的产业之一。目前，半导体设备的国产化需求急剧上升，得益于半导体行业的蓬勃发展和国家政策的支持。在此大背景下，安川电机深入对半导体设备和工艺的研究，致力于为客户提供优质的解决方案。

半导体制造工艺

半导体工艺流程图

清洗工艺

清洗工艺贯穿于晶圆制造的整个过程，是保证良品率的关键之一。清洗工艺的好坏不仅影响表面的洁净度，还会对芯片的电学性能、稳定性等产生直接影响。

解决方案—中空电机

安川电机针对清洗工艺提出了全新的中空电机方案。

传统伺服电机结构 VS 中空伺服电机结构

方案优势

1空间优化

以往的结构是伺服通过皮带轮装置连接中空轴，结构相对复杂，占据空间。通过采用中空伺服电机，可简化机械结构以实现节省空间的目的。

2粉尘减少

中空部的转动轴采用不锈钢，并选用低发尘规格的特殊润滑脂，有效地减少了粉尘的发生。

3高速高精度

搭载了24bit高分辨率编码器，其中SGM7T-08A最大速度可达3000min-1。

中空电机规格

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