VEGA 雷达物位计在半导体材料高要求行业的成功应用

• 关键词：VEGA,雷达物位计,半导体
• 摘要：随着 5G 通信、新能源汽车、物联网、人工智能等新兴产业的发展，中国半导体材料行业发展态势蓬勃，未来更是具有广阔的发展空间和飞速的增长趋势。在我国江苏省，有一家亚太地区领先的高纯电子化学品和电子气体的产品供应商，专注服务于集成电路、平板显示器、LED 等行业。

随着 5G 通信、新能源汽车、物联网、人工智能等新兴产业的发展，中国半导体材料行业发展态势蓬勃，未来更是具有广阔的发展空间和飞速的增长趋势。在我国江苏省，有一家亚太地区领先的高纯电子化学品和电子气体的产品供应商，专注服务于集成电路、平板显示器、LED 等行业。VEGA 仪表凭借高品质材料以及出色性能，为企业的生产过程和储存系统提供了可靠的物位测量数据。

有哪些电子化学品需要测量？

双氧水、超纯水、氟化铵、氢氟酸是半导体材料行业常见的化学物质。物位仪表不仅为其生产过程中的物料平衡控制提供了可靠依据，还能够优化生产工艺、提高产品质量，并增强生产过程中的安全性和环境友好性。VEGA 雷达物位计的主要应用场合包括：

VEGA 解决方案和应用优势

在电子级化学品的生产过程中，不但有化工行业普遍存在的腐蚀、气相挥发、搅拌等典型工况特征，还需要满足接液材质脱油脱脂和高纯度的特殊需求。

针对电子化学品测量，VEGA 的 80GHz 雷达物位计有 5 大应用优势：

01材料耐腐蚀性强

PTFE 等天线材质具备出色的化学稳定性，无论是面对氢氟酸、硫酸等强酸，还是氨水等碱性溶液，都能保持良好的性能，满足电子化学品生产对防腐的高要求。

02第二道防线提升密封性

VEGA 仪表可配备耐腐蚀的玻璃密封作为第二道防线，严格防范有毒气体逸出，保障运行可靠性与生产安全。

03满足脱油脱脂要求

VEGA 为仪表提供脱脂脱油清洁程序，这对于电子材料生产至关重要。在超纯水以及对纯度要求极高的电子级化学品的生产过程中，哪怕微量的油脂都会影响产品质量。

04高品质材料确保物料无污染

VEGA 雷达物位计的金属部件抛光度出众，完全满足用户对光洁度的要求。同时，其 PFA 塑封天线采用特殊的 Daikin AP-230 材质，PFA 纯度非常高，满足电子材料行业对天线接液材料的纯度要求，可避免物料被杂质污染，深受用户青睐。

05在各种工况下都能可靠测量

在面对诸如搅拌、挥发、结露等复杂工况时，VEGA 雷达物位计凭借高聚焦和高信号动态范围，成为应对复杂工况的理想选择。

氢氟酸测量的回波曲线：物位信号清晰可见

目前，国内半导体产业发展迅速，对湿电子化学品等半导体材料的需求不断增长。VEGA 雷达物位计凭借满足行业要求的接液材质与出色的测量可靠性，为半导体材料行业的物位测量提供了一个成功范例。

关于VEGA 

VEGA是一家生产物位、限位、压力和密度测量仪表的全球制造商，并提供将仪表整合到过程控制系统中的设备和软件。VEGA在全球拥有2,600多名员工，60多年来，VEGA为各类应用场合的测量难题提供了解决方案，包括化工和制药设备、食品加工、饮用水供应、污水处理、垃圾填埋、采矿、发电、钻井平台、船舶、航空，等等。更多信息，欢迎访问www.vega.cn。