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传感器制造工艺的分类

  • 关键词:集成传感器,薄膜、厚膜传感器,陶瓷传感器
  • 摘要:传感器的发展和传感器制造的工艺有着密切的联系,在近现代的科技发展中,制造工艺的进步也促进了传感器制造业的进步。传感器在近现代主要的制造工艺有四种,分别是集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器和陶瓷传感器。

  传感器的发展和传感器制造的工艺有着密切的联系,在近现代的科技发展中,制造工艺的进步也促进了传感器制造业的进步。传感器在近现代主要的制造工艺有四种,分别是集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器和陶瓷传感器。


  1、集成传感器

  集成传感器的生产工艺,和生产标准硅基半导体集成电路工艺是基本相同的。传感器通过集成方式进行制造后,可以获得更小的体积并集成更多的功能,部分集成传感器可以拥有一部分处理功能,来处理被测量信号。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。


  2、薄膜传感器

  薄膜传感器的制造涉及了纳米等先进技术,薄膜传感器的制作方法是通过沉积在介质衬底(基板)上,用敏感材料形成一层薄膜。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。薄膜传感器在制作时也可以复合一些电路系统,这需要使用到混合工艺。



  3、厚膜传感器

  厚膜传感器和薄膜传感器相对应,利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。厚膜传感器的制造材料多是氧化铝,涂层形成后进行热处理,这样厚膜即可成型。


  4、陶瓷传感器

  陶瓷传感器即新工艺的应用也是传统材料的应用,陶瓷传感器所使用的陶瓷材料是精细陶瓷也被称为高科技陶瓷,陶瓷传感器的制造主要是采用标准的陶瓷工艺或变种工艺(溶胶-凝胶等)生产,完成适当的预备性操作之后,将成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多共同特性,在某些方面,可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。传感器的各种制造工艺之间并没有明确的优劣之分,各个制造工艺都有自己的优点和不足,但目前厚膜和陶瓷技术应用的更为广泛。



传感器制造工艺的比较特性:

传感器制造工艺的比较特性


  从上表中的比较可知,每种工艺技术都有自已的优点和不足。由于研究、开发和生产所需的资本投入较低,以及传感器参数的高稳定性等原因,采用陶瓷和厚膜传感器比较合理。


发布时间:2017年6月29日 8:54  人气:   审核编辑(王静)
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