产品简介：

HPS-CFL系列是基于光谱共焦法原理的高端光学精密检测传感器，采用非接触式测量法获取物体表面距离值数据，实现对被测物的表面轮廓和缺陷检测分析，产品被广泛应用于3C、半导体等各行业领域。

产品介绍：

海伯森HPS-CF系列是一款基于光谱共焦法原理的高端光学精密检测传感器，采用非接触式测量法获取物体表面距离值数据，实现对被测物的表面轮廓和缺陷检测分析。产品拥有多项自主知识产权，在实际应用中突破传统检测方式的限制，可对透明、高反光、强吸光材料的表面进行亚微米级精度的在线检测，目前，产品被广泛应用于3C电子、玻璃/镜头、芯片/半导体、锂电新能源、医疗和科研等各行业领域。

光谱共焦位移传感器HPS-CFL系列具有如下优势：

• 相比于传统激光位移传感器，HPS-CFL系列对各种颜色及光照条件的适应性更强，几乎不受材质、形状和反光影响，可以对多种材质进行高精度测量；

• 测量角度大：HPS-CFL系列具有良好的角度特性和极限分辨率，可实现镜面表面±62°，漫反射表面±88°超大角度测量；且能精确测量带有角或弧度目标物的3D轮廓；

• 支持四通道同步测量：一个控制器可以支持四个传感头，可以实现低成本的高精度测量；

• 极小的测量光点纳米级分辨率：测量光束在整个测量范围内具有相同的分辨率和精度，光点最小可至2.48μm，具有超强收光能力；横向分辨率是测量光点的一半，无需刻意放大光点尺寸，适合测量微小几何结构和轮廓变化；

• 多功能光谱共焦传感器，实现出色的信噪比，确保高精度高稳定性测量，适合超高速、高动态检测任务，实现72000次/秒的高测量频率。

  
  

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