CVD 镀膜设备需要达到最高性能以获得最佳经济效益。有效的冷却在其中起着决定性的作用。这是因为 CVD 镀膜应该只沉积在基材上，而不应沉积在反应器中，镀膜设备应尽可能的紧凑。

因此，在传统的解决方案中，由于空间狭小，很难更换部件。通常情况下，为了接触到真正损坏的部件，必须费力地拆除整个子系统。此外，采购要更换的部件也需要很长的时间。

▲Bürkert 节省空间的焊接或机加工集成阀块解决方案 ▲

Bürkert 通过其流体技术经验，为您的气体分离系统提供优化的定制冷却解决方案。焊接或机加工的流道集成块解决方案与高质量的不锈钢连接件相结合，组成紧凑的流体解决方案，准确满足您的定制要求。早被市场证明的成熟可靠的 Bürkert 流体控制技术的特点之一就是使用寿命非常长，提高了工艺过程的可靠性，几乎无需维护。

免维护运行

得益于高质量和耐用的 Bürkert 组件，冷却系统将变得更加可靠。故障和费时的维护将成为过去式

低物流成本

Bürkert 的系统在自己的工厂装配生产，不依赖冗长的供应链。由于库存量大，我们可以在紧急情况下直接交货。即插即用的解决方案允许快速组装，最大限度地减少了停机时间。

节省成本且高效

Bürkert 的系统在自己的工厂装配生产，不依赖冗长的供应链。由于库存量大，我们可以在紧急情况下直接交货。即插即用的解决方案允许快速组装，最大限度地减少了停机时间。

节省空间的设计

Bürkert 的系统在自己的工厂装配生产，不依赖冗长的供应链。由于库存量大，我们可以在紧急情况下直接交货。即插即用的解决方案允许快速组装，最大限度地减少了停机时间。

完全焊接、无泄漏

在完全焊接的 Bürkert 系统中，没有可能发生泄漏的接口。这消除了耗时的维护工作，使您的 CVD 镀膜设备可靠地运行。

安装工作量小

Bürkert 的温度控制系统由于即插即用的设计可以在很短的时间内轻松安装到您的 镀膜设备中，即插即用。需要维护时，您可以快速更换部件。

量身定制

Bürkert 可以根据您系统的配置，在兼顾您要求的情况下调整模块化流体系统和必要的外围设备。

如果您想了解更多 Bürkert 的解决方案，

任何问题都可与我们联系，期待您的垂询！

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如需了解更多信息,请访问 (宝帝流体控制系统(上海)有限公司)官网 http://www.burkert.com.cn